2)第376章 极紫外光刻机_掀翻时代的男人
字体:      护眼 关灯
上一章 目录 下一章
  根据设计图制作掩模,以供后续光刻步骤使用。

  而IC制造,就是半导体芯片的制造了。

  一般,要实现芯片电路图从掩模上转移至硅片上,并实现预定的芯片功能。

  包括了光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。

  至于IC封测,就是完成对芯片的封装和性能、功能测试,是产品交付前的最后工序。

  IC设计就不提了,苏扬有苹果A6处理器的技术,其中就包括了32nm芯片的设计。

  另外,商城挂着的inter酷睿系列,也有45nm——14nm芯片的工艺技术。

  而在IC制造中,光刻又是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤,耗时长、成本高。

  其中的难点和关键点,在于将电路图从掩模上转移至硅片上。

  这一过程,目前只能通过光刻,才能最有效地实现。

  所以,光刻的工艺水平,往往直接决定了芯片的制程水平和性能水平。

  安正国找来技术人员和材料,在苏扬的指导下,这些专业生产芯片的员工,初步了解到这台光刻机的使用流程。

  光刻的原理,实际上非常简单。

  在硅片表面覆盖一层具有高度光敏感性的光刻胶,再用光线透过掩模照射在硅片表面。

  被光线照射到的光刻胶,会发生反应。

  此后,再用特定的溶剂洗去被照射或未被照射的光刻胶,就实现了电路图从掩模到硅片的转移。

  这和华夏古代的印刷术,实际上有一些相似之处,但光刻技术却比印刷术难了千万倍。

  一般的光刻步骤,有气相成底膜、旋转涂胶、软烘、曝光、显影、坚膜。

  接着,就是进行检测,主要是显影检测,让合规的硅片进入后续的蚀刻流程。

  所谓蚀刻,便是通过化学或物理的方法,有选择地从硅片表面,除去不需要材料的过程。

  完成之后,就能通过特定溶剂,洗去硅片表面残余的光刻胶了。

  当然,这是最简易的光刻步骤,在实际生产制造中,比这复杂了上百倍。

  从开始光刻,到最后洗去残余的光刻胶,几个步骤,就足足花了三个多小时。

  当然,这里面也有一些员工刚刚接触新设备,操作不顺手的因素。

  当时间来到下午四点半的时候。

  车间内,一片惊喜和欢腾的景象。

  “出来了,居然真的做出来了!”

  “60nm的电路图,居然真的被我们转移到了硅片上。”

  “不可思议啊!全华夏能做60nm芯片的企业,不超过三家,而且全是在18年下半年才刚刚突破的技术,还是在实验室里!做到量产的话,得到今年年底,甚至是明年年初去了。”

  “是啊,而我们现在,却拥有了一台可以量产60nm芯片的光刻机,如果操作熟练了,速度提上去,再进行交替光刻,一天至少可以造上数百片12寸的圆晶啊!”

  “这是一个突破,了不起的突破,如果我们把这里发生的事情,宣布出去,足以震惊整个华夏,乃至是中央都要被惊动!”

  华夏在半导体行业,被压了太多年了。

  从上个世纪以来,就一直跟在西方国家的屁股后面跑,说是向人家乞讨技术也不为过。

  虽然60nm芯片的量产,和45nm芯片的量产,还有一定的差距。

  但是,在工艺水平上,也能证明华夏没比inter等落后太多了。

  这是一个十分涨士气的突破。

  一旁,刘元龙沉声道:“各位,你们难道没有意识到吗?刚才我们用的,只是这台光刻机最底线的精度!”

  这话一出,几名兴奋的家伙,立刻止住了话音,转而张了张嘴巴,眼睛立刻挣得大大的。

  “是啊,刚才用的还是最低的精度!”

  “没错,往上一个刻度的话,岂不是意味着……45nm甚至32nm的芯片也有可能了?”

  “不对,我之前看过一篇学术报告,EUV光刻技术的真正领域,是32nm,不,是22nm以下的领域!”

  “22nm以下,这……这也太疯狂了吧。”

  “……”

  请收藏:https://m.bqg88.cc

(温馨提示:请关闭畅读或阅读模式,否则内容无法正常显示)

上一章 目录 下一章